清江苏吴县人，原名恕，字元龙，一字砚溪。康熙三十年进士。任密云县知县。适大军北讨噶尔丹，军需紧迫，书生艰于应付，忧急而死。少从父惠有声(明岁贡生)治经学，又受业于徐枋、汪琬，工诗文，后乃专心治经。其子士奇、孙栋均以经学著名。周惕遂为惠氏经学之祖。有《易传》、《春秋问》、《三礼问》、《诗说》、《砚溪先生遗稿》。
洗砚池荒，写经窗暗，奚僮不扫闲阶。一树红棠，含苞犹映书帷。
雕栏曲榭无人到，睇春风、旧燕还来。最凄凉、尘榻依然，重过萧斋。
著书辛苦知何用，叹丝桐麈尾，都付尘薶。侧帽花间，当时曾几徘徊。
董陵下马逢寒食，问花枝、今为谁开。怕明朝、点点啼猩，滴损苍苔。
幽泉如真僧，品在方以外。自惭尘中人，知津偶然逮。
时方新雨余，潆洄纳诸派。亭亭莲自开，汩汩云不坏。
小师习水观，汲取钓筒快。浸以连枝茶，香色正初焙。
一瓯高自持，岸帻据石背。竹风凉修修，松月碧霭霭。